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      闡述熱熔膠涂布機的使用操作方法


      熱熔膠涂布機的使用操作方法:
      (1) 首先將PUMP的電源插頭插入涂布機后面的電源插座。

      (2) 將涂布機插頭插入110V的電源插座,然后按下[POWER]鍵。

      (3) 設定旋轉的轉速及時(shí)間,本機型為二段式加速的Spin Coating,右邊為第一段加速,左邊為第二加速。

      (4) 依不同尺寸的基材,可更換不同的旋轉轉盤(pán)做徒步的動(dòng)作。

      (5) 按下[PUMP]鍵,此時(shí)旋轉轉盤(pán)會(huì )吸住基材,然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開(kāi)至適當的量,在做光阻涂開(kāi)動(dòng)作時(shí)可先用氮氣將旋轉轉盤(pán)周?chē)盎拇登瑑簟?br />
      (6) 蓋上涂布機的保護蓋,以防止光阻濺出涂布機外。

      (7) 按下[START]鍵,涂布機便開(kāi)始做涂布的動(dòng)作。

      (8) 涂布完畢后,打開(kāi)保護,按下[PUMP]鍵旋轉轉盤(pán)會(huì )放開(kāi)基材,便可以將基材取出。
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